既存のアナログSEMをデジタル化します
DISS5 - Digital Image Scanning System

DISS 5は既存のアナログSEM装置に後付けして、システムをデジタル化する装置・ソフトウエアです。スロースキャン信号をデジタル化するだけでなく、走査ビームもコントロール及び、画像処理もできる アクティブシステムです。通常のWindowsシステムにUSB2.0で接続され、オプションで
X-Rayマッピングも可能です。欧米で1000台以上の納入実績があります。


コントローラ

画像処理ソフトDIPS

接続事例

 

ハードウエア装置

・電子ビームコントロール回路
・最大解像度 16384x16384画素
・最大12ビット/画素 分解能
・4x12ビット入力(SE、BSE)
・12x16ビットカウンター入力(X-Rayマッピング)
・15フレーム/秒(512x512)のライブ表示
・ライン/フレームアベレージング
・USB2.0インターフェイス
・Windows 2000/XPドライバー

取込みソフト(DISS 5)
・TVScan,Slow scan,Mapping,Line scan,Point measurement
・ROI設定
・ユーザ設定可能なスキャンボタン
・信号モニター
・画像処理
・Twain (OEM供給可能)
画像処理・解析ソフト(DIPS)
・画像処理:ブライトネス、コントラスト、ヒストグラム、空間フィルター
・測定
 距離、半径、角度、濃度プロット、サーフェイスプロット
・ラベリング:ミクロンバー、アノテーション
・ラインスキャン、EDXオーバレイ表示
・画像ミックス表示
・レイアウトへのフィッテング
・位相解析(オプション)
・画像ブラウザ―
・画像保存フォーマット(TIFF,BMP,JPEG)
・印刷
・オンラインヘルプ
国内外接続実績
日立製作所
・S-450,510,520,530,570,650,800
・S-2100,2300,2400,2500,2700
・S-3500,4200,4500,4700
日本電子
・JSM 1,20T,25,35,5200,5300,5400
・JXA 50A,733,8600,8800
・JSM820,840,6200,6300F,6400,6700
Philips社製
・SEM501,515,525,535
・XL20,30,40
Leo
・1500,1550,4000Seriea
ISI
・SX30,40,50,55,60
Topcon
・ABT55
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 *総輸入元:株式会社ソリューションシステムズ

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